EGURO開發加工精度1.0μm以下的超高精度CNC車床
2008-11-11 14:27:11
日本EGURO（長野縣岡谷市）開發出加工精度極佳的CNC車床“100-Nano”，并在“第24屆日本國際機床展（JIMTOF2008）”（2008年10月30日～11月4日，東京有明國際會展中心）上展出（圖1、2）。加工精度在1.0μm以下。旨在以超精密旋削技術支援客戶開拓新市場（圖3）。
夾持工件的主軸采用空氣靜壓軸承。X軸和Z軸分離，采用誤差不疊加的結構。滑軌方面，左右各設置1條截面呈倒V字形突出的滑軌，提高了直進性。在倒V字形的表面上熔射具有滑動性的鉬形成皮膜，然后打磨加工。底座采用熱膨脹系數低、振動衰減特性良好的人工花崗巖，提高了抗熱變動和振動性能。
藉此X軸的追蹤精度達到0.5μm，Z軸達到1.0μm，圓度達到0.05Mμm。
價格為1800萬日元（不含稅）。
