松下開發(fā)出0.15μm精度的形狀測量儀
2009-08-19 14:57:07
松下開發(fā)出能以±0.15μm的精度測量精密加工物形狀的測量系統(tǒng)。除MEMS、半導(dǎo)體及連接器等微細(xì)加工品外，還可應(yīng)用于硬盤驅(qū)動器的軸承部分及發(fā)動機(jī)的汽缸部分等精密加工品的測量。
此次開發(fā)的系統(tǒng)利用探針描畫測量對象的表面以測量形狀。可以使用同一個探針，測量水平面和垂直面。此前的系統(tǒng)都不能以不足±1μm的精度測量垂直面。之前的形狀測量方法是照射激光等非接觸測量的方法。但這種方法存在的問題是，因測定部分的顏色和狀態(tài)不同，測量值各異。
此次，該公司開發(fā)的方法使用的是在棒狀支柱上安裝直徑30μm的球制成的探針。探針為金屬材料，有時還使用紅寶石。將該探針對著測量對象物表面以微小的力（0.3mN）進(jìn)行描畫。探針因描畫物體而傾斜，根據(jù)探針的動態(tài)便可測量表面形狀。不過，實際上，為防止探針位置從其最初接觸測量物的狀態(tài)發(fā)生變化，通過反饋控制來移動載有測量物的載物臺。根據(jù)該載物臺的動態(tài)來推算形狀。另外，探針的位置能夠使用光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行精密測量。
測量范圍方面，縱橫均為100mm。探針的描畫速度為2mm/秒。探針能夠測量最小直徑為50μm的微細(xì)孔。該公司表示，有了這樣的測量能力，便能夠測量MEMS及半導(dǎo)體制造工序中的很多加工形狀。
該測量系統(tǒng)的設(shè)置面積是該公司原產(chǎn)品的大約一半。另外，即使有5cm/S2（伽）的搖晃，也能夠發(fā)揮規(guī)定的測量能力。這是在普通工廠中都可能存在的搖晃。2009年10月起，松下生產(chǎn)科技（Panasonic Factory Solutions）開始受理訂單。價格“不超過4000萬日元”。 ■
