ZEVAC公司近日推出了其高精度、多功能自動化工藝桌面平臺與擴散器的應用。應用于不同介質擴散和零件處理的復合2D（X/Y軸）和3D（X/Y/Z軸）開放式應用領域，利用其精密和靈活的工藝創新，解決了電子元件、半導體、光電子和微電子處理或生物技術產業的市場問題。
此外還可添加使用一個或多個Z軸、Z軸和Theta軸組合的專用機器人加工頭、分配加工頭或高速主軸加工頭。交換針可在X、Y和Z方向上進行自動校驗，而擴散區可在介質擴散后，采用視覺控制方法立即進行檢驗。CAD數據可采用逐點、矩陣、直線、曲線或各種擴散模式輸入，而X、Y和Z軸則采用同步化處理，同時擴散路徑繼續受到控制和進一步優化，然后可確定激光距離傳感器一類周邊設備的進一步連接或清潔并進行其他各項操作。
