為了提高三坐標測量機的測量速度，縮短測量周期，分析了影響給定的三坐標測量機動態(tài)誤差的因素。對三坐標測量機的具體結構作了分析，用電感測微儀進行了動態(tài)偏轉角誤差的測量，并推導出由動態(tài)偏轉誤差得到測頭處的動態(tài)位移誤差的方法。同時，對由導軌的直線度造成的誤差進行了討論。指出動態(tài)誤差主要是由各構件繞氣浮導軌連接處的偏轉和各運動構件本身的彎曲變形造成的。從理論上可以證明，在氣浮導軌力矩剛度和橫梁彎曲剛度已知的情況下，只要測量出兩側氣浮導軌滑架的偏轉角誤差，就可以得到測頭位置處的動態(tài)位移誤差。
除了靜態(tài)或準靜態(tài)誤差外，三坐標測量機測量結果的精度還受到動態(tài)誤差的影響。測量機速度的加快使動態(tài)誤差對測量結果的影響更大。
隨著三坐標測量機的動態(tài)誤差對測量結果的影響越來越大，對三坐標測量機動態(tài)誤差的研究也越來越受到人們的重視。動態(tài)誤差主要是由三坐標測量機的結構特性，如質量的分布、構件剛度、阻尼特性、控制及干擾力所決定的，由各構件繞氣浮導軌連接處的偏轉和各運動構件本身的彎曲變形造成的［1］。當測量速度較低時，這一誤差很小，可以忽略不計。當測量速度較高時，尤其在高速掃描測量中，這一誤差對測量結果影響較大。
三坐標測量機運行過程中的典型負載變化情況見圖1。
實驗過程及結果
在實驗中，往往測量各構件繞氣浮導軌連接處的偏轉角誤差是比較容易而且可行的。各構件的動態(tài)偏轉誤差綜合起來，成為測頭位置處的動態(tài)位移誤差。測量各構件繞氣浮導軌連接處的偏轉角誤差有很多方法，例如用激光干涉儀就可以準確地得到測量結果。但是激光干涉儀的測量結果受環(huán)境參數(shù)影響較大，對使用環(huán)境要求較高。在實際中，往往希望用較簡單的方法來完成測量任務。為達到這一目的，我們在所研究的三坐標測量機上用其它方法進行了實驗，采用的儀器是微位移傳感器。
