三坐標測量儀作為一種高精密的測量儀器，精度保證非常重要。一般的機械設備中，摩擦力往往都是影響機器運轉的重要因素之一，三坐標測量儀為了消除摩擦力，使測量精度達到一個高水平，使用了氣浮原理，各軸在運動時，都是懸浮狀態，完全的消除了摩擦力的影響。那么三坐標測量儀的氣壓控制原理是怎么樣的呢？
三坐標測量儀都配有過濾器和調壓閥，主要是對進入的氣體進行初步的檢驗。而在過濾器的旁邊，還有兩個壓力開關和一個電磁閥。當空氣進入三坐標測量儀達到氣缸平衡壓力時，處于常開狀態的平衡壓力開關S1會閉合，電磁閥才能在控制系統通電狀態下閉合。電磁閥閉合后，壓縮空氣經電磁閥到達空氣軸承。壓力開關S2在電磁閥的后面，當氣壓達到空氣軸承工作壓力后閉合，它的作用是避免空氣軸承在低氣壓下工作。當S1和S2都閉合后，控制系統才能正常加電，機器也才能開始正常的運轉，任何一個壓力開關斷開，都將導致三坐標測量儀處于停止狀態。
現在幾乎所有的三坐標測量儀都是使用的氣浮原理運行的，正常的氣壓能夠保證三坐標測量儀的正常運行，氣浮塊的質量好壞當然也會影響到三坐標測量儀的整體穩定性以及測量精度，目前，國際先進的三坐標品牌都是使用高質量的氣浮塊，例如思瑞測量就完全使用進口的高質量氣浮塊。用戶在選擇三坐標測量儀時，氣浮裝置同樣是一個重要的考察點。
