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離子束拋光 新興精密拋光技術
2024-05-09 14:51:23

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基本情況

光學精密拋光技術是提升光學元件表面質量和精度的關鍵工藝。它通過去除表面的裂紋、劃痕和粗糙度等缺陷,顯著提高光學元件的透光率、反射率和色散率等性能。目前有機械拋光、化學拋光和化學機械拋光等。離子束拋光技術是一種原子量級的無應力、非接觸式拋光工藝。它在真空環境下利用惰性氣體離子(如氬氣離子)轟擊工件表面,通過物理濺射效應實現材料的去除。簡單概括就是在不接觸的情況下,利用離子束轟擊將被拋光材料表面搞光滑。離子束拋光的特點在于其非接觸式加工方式,與傳統拋光工藝相比,離子束拋光避免了因預壓力導致的表面或亞表面損傷,同時,高潔凈度的真空環境確保了加工過程中不會引入雜質,從而有效制造出超光滑表面。它能夠快速收斂面形,實現亞納米量級的材料去除分辨率,滿足最終面形精度的嚴格要求。


02

產業鏈

離子束拋光機主要由離子源、工作臺、控制系統、真空系統、氣體循環系統等組成。其中,離子源是核心部分,利用電磁場加速離子形成離子束。工作臺用于支撐工件,控制工件的位置和角度。控制系統則負責整個設備的操作和監控。真空系統則創造一個良好的工作環境,保持離子束的穩定性。氣體循環系統則用于回收加工中產生的廢氣及處理。離子束拋光機在精密、超精密制造領域應用廣泛。如在半導體行業用于晶圓表面平臺化處理和薄膜去除,以及硅片拋光、MEMS器件等加工。在光學行業用于元件的超精密元件加工、表面處理,如光學鏡片拋光、激光晶體加工等。在精密模具、航空航天零部件、超精密軸承制造、生物醫學的人工關節等醫療器械加工等領域都有著不少應用。


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企業介紹

美國伊士曼柯達(Eastman Kodak)最早報道該技術,并組建出離子束拋光機。

德國NTG公司是專業生產離子束拋光機的生產廠家,與德國 IOM 研究所合作推出的離子束拋光機同樣具有非球面光學元件的拋光能力。

咨詢設備:13522079385


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幾個觀點

1.技術門檻高,生產設備昂貴,雖然新的應用領域在不斷開拓中,市場不斷擴大,前景無疑是廣闊的,但目前市場整體屬于高端設備,生產企業相對較少。2.離子束拋光機,分口徑大小,口徑越大要求越高,并且曲面加工能力也是非常重要的指標。3.拿PPT講故事的團隊有,已有產品的企業到處講故事的也有,這也算是行業發展初期的狀況吧。


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