日本東芝超精機
型號：ULG-100AC（H）
功能：超精車和超精磨一體機
出廠時間：2001年；
除了高速、高精度、高剛性、低發熱性和高可靠性，還實現了精密損耗精度
研磨主軸：20nm/SPAM
工作主軸：5nm/SPAM (*1)
高可重復性，高加工效率
超低摩擦力導軌整合了本公司的原創高研磨技術和精選高精度軋輥，對納米范圍進給速率響應度高，消除了逆向進給的延遲。該導軌系統的剛性和穩定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導軌，但精度能保持相似。
高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅動系統，我們開發并利用*的耦合器，解決了滾珠螺桿旋轉所造成的常見應力和振蕩問題。
型號 ULG-100E(HY)
直線行程
軸
X 軸 (mm) 220
Y 軸 (mm) 20
Z 軸 (mm) 150
編程
分辨率 (nm) 1
工作臺進給速率(mm/min)
X、Z：500
Y： 300
工作主軸
旋轉速度(min-1) 0-1500
真空吸盤直徑 (mm) π100
C 軸功能 配件 標配
研磨主軸速度 (min-1) 5000-40000 10000-60000
B 軸車削
工作臺 進給速率（度/分鐘） - 0-1080
編程
分辨率（度） - 0.0001
聯系電話：13522079385
