E500LP 超精密超聲加工中心
E500 LP系列超精密超聲波加工中心，是針對半導(dǎo)體、光學(xué)、醫(yī)療領(lǐng)域精密、超精密小型零部件加工需求推出的高穩(wěn)定、高精度、高工藝能力的高端精密機(jī)床，服務(wù)于國內(nèi)高端零部件自主加工需求，解決高端精密機(jī)床的國產(chǎn)化問題。
穩(wěn)定性是客戶對高端機(jī)床最大訴求。E500 LP主體結(jié)構(gòu)采用礦物鑄件床身，具有極高的尺寸穩(wěn)定性和10倍與鑄件床身的阻尼特性，保障機(jī)床靜態(tài)精度長期穩(wěn)定，動態(tài)減振、抗震性能優(yōu)異；構(gòu)型上采用一體化對稱龍門框架結(jié)構(gòu)，獲得良好的承載剛度，有效抵抗切削負(fù)載及機(jī)床部件重心移動引起的形變誤差；整機(jī)采取熱管理設(shè)計(jì)，嚴(yán)格控制主體構(gòu)件溫度和機(jī)內(nèi)空氣溫度，大幅降低熱量引起的熱變形誤差。
精度是實(shí)現(xiàn)精密、超精密零件加工的核心指標(biāo)。E500LP的X、Y、Z三軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動，無背隙、無磨損，具有優(yōu)異的靜態(tài)和動態(tài)精度；采用納米級分辨率光柵反饋，實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)運(yùn)動控制，達(dá)到10nm最小位移單位；導(dǎo)軌采用最高精度等級G0滾柱導(dǎo)軌，其支撐剛度和耐磨性遠(yuǎn)高于滾珠導(dǎo)軌。以上措施，使該機(jī)床達(dá)到重復(fù)定位精度0.4um、產(chǎn)品表面加工精度優(yōu)于Ra35nm、最小鉆孔直徑0.02mm。
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高工藝性能為客戶帶來遠(yuǎn)超越常規(guī)精密機(jī)床的經(jīng)濟(jì)效益。E500 LP搭載先進(jìn)的超聲波輔助加工系統(tǒng)，將高頻超聲振動與高速精密主軸結(jié)合，大幅度降低硬脆材料的切削了和切削溫度，材料去除率提升30%-50%,刀具壽命提升3-5倍， 切削力引起的變形量降低20%-90%,大幅度提升硬脆材料的加工效率、刀具壽命和加工精度。
