應日本Sony Manufacturing Systems Corporation （索尼制造系統公司）的邀請，我們到神奈川縣伊勢原市參觀訪問了該公司并與相關負責人進行了交流。現將SONY在精密檢測系統及其精密制造技術方面的最新進展和公司的歷史作一個介紹。
Sony Manufacturing Systems Corporation 是SONY的高新技術企業，于1969年8月1日成立，成立時的名稱是Sony Magnescale Inc.（索尼磁柵尺公司），公司在神奈川縣伊勢原市，是世界上最先建立的磁柵尺和磁柵測量系統生產的企業。公司2006年的銷售額489億日元。磁柵尺的年銷售量在70 000支。公司合并是強強聯合，發揮了兩個部門的資源共享，使精密測量和精密制造產業緊密結合。造就了從計劃、設計、研發、生產、銷售和服務為一體的綜合性運營平臺。
SONY 產品展示室一角
為了進一步創新，SONY公司融合了多種技術：精密測量技術、光學技術、軟件技術、精密加工和制造技術。在測量系統方面有激光尺、磁柵尺、遠紫外（DUV）固體激光器、半導體硅片檢查系統、DVD/CD檢查系統、數據記錄儀；在制造設備產品方面有立體光刻機、視頻顯微鏡、臺式機器人、涂布印刷機、電子元件安裝機。在器件產品方面有背光板（從背后照亮液晶顯示屏的底版，主要用于手機、數碼相機、筆記本電腦的液晶顯示屏）、超精密模具等。
精密測量系統的成就
SONY制造系統公司輝煌的成就源于20世紀60年代最先研究開發成功磁柵尺（magnescale），創立了一種新型的磁柵測量系統，并批量用于機床數顯和數控；SONY再創輝煌的是在21世紀研究開發成功激光尺（laserscale）將光柵測量技術和激光測量技術結合了起來開發出納米級和皮米級測量系統，首先進入皮米測量時代。SONY公司在開發超精密測量系統的同時注重與相關產業的領頭企業緊密協作，高效地推廣應用領域。制造出了納米級和皮米級的加工設備，如立體光刻機、半導體硅片檢查系統、非球面鏡加工機、硬盤加工機等。SONY參加了世界最先進的45nm的超大規模集成電路的制造設備的研制和開發，現在正在為日本制造30nm的加工設備。
在長度規環狀磁頭的生產線上工作人員對磁頭進行嚴格的篩選，他們將磁頭的半成品放入60℃的水中煮20min后再進行測試，一般兩路正余弦信號的相位誤差在15?之內就合格，而他們選擇的是10?。SONY磁柵尺準確度測量室的恒溫是20℃±0.2℃,潔凈度10 000級，工作臺花崗石氣浮臺，防振地基是用3根鐵樁打入地下數米深的石頭上建立，測量長度3m，用激光檢測，測量分辨率為0.01μm。更高級的測試室恒溫是20℃±0.01℃,潔凈度100級，此外還有1級的無塵室，科研和背光板的制作要在那里進行。激光尺準確度測量室的測量分辨率是0.02nm，準確度是±3nm。帶狀磁柵尺刻錄工作臺長度為9m，可以刻錄30m的磁柵尺，線狀磁柵尺刻錄工作臺為3m。
SONY的測量系統按分辨率排序如下：
(1)分辨率10μm，磁柵數字尺（Digiruler）準確度在±30μm，測量長度可以到30m，如用在注塑機。
(2)分辨率5μm，用磁柵尺（Magnescale），準確度在±10μm，測量長度可以到3m，如用在手動數顯機床。
(3)分辨率0.5μm、0.1μm，用磁柵尺（Magnescale）、反饋尺（Feedback Scale），準確度在±5μm、±3μm，測量長度可以到3m，如用在加工中心、數控車床、銑床、鏜床、三坐標測量機等。
(4)分辨率0.1μm，用磁柵長度規（Digital Gauge），準確度在±0.5μm，如用在飛機機翼的多點測量、發動機凸輪軸的在線測量、軋鋼機軋輥壓下量的在線測量等。
(5)分辨率0.1μm，用超磁柵尺（Uitra Magnescale）。
(6)分辨率10nm~34pm，用激光尺（Laserscale），分辨率1nm，準確度在±1.5μm，測量長度可以到1060mm；分辨率34pm，準確度在±0.04μm，測量長度可以到40mm, 激光尺用于非球面的納米加工機、硬盤的加工、在真空中的超精密工作臺、DUV硅片缺陷自動檢查系統等。
SONY的磁柵尺
1968年7月在籌備建立公司前就開始制造磁柵尺，1969年1月SONY磁柵尺公司成立，1981年2月伊勢原工廠建立，磁柵尺的制造形成規模。當時磁柵的柵距是0.2mm，讀取磁柵尺上的信號的磁頭是采用磁通響應式磁頭，并且需要對柵距進行比較高倍的細分，到1997年的直線磁柵尺（Linear scale）和磁柵測量系統最高分辨率達到0.5μm，準確度在±3μm、±5μm、±10μm，測量長度可以到3m，測量速度60m/min，防護等級到IP55。廣泛用于銑床、車床和X-Y工作臺的數顯系統。20世紀70年代后期中國在廣泛
