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MQ系列三座標測量儀：
技術參數：
形式：橋式結構，工作臺固定
測量范圍：X:500mm～1000mm
          Y: 500mm～2000mm
          Z: 300mm～1000mm
示值誤差：E≤（2.5＋L/300~4+L/150uM）
探測誤差：R≤(2.5~4)Um
測量系統：Renishaw接觸式測頭
長度測量系統：Renishaw精密光柵系統
探測系統：Renishaw測頭系統
控制系統：PC總線DSP三軸矢量控制系統
驅動系統：直流伺服
電源：220V±10％
50/60Hz、1000W
壓縮空氣：（0.4~0.5）Mpa
壓縮空氣流量：200L/min（0.4Mpa）
使用環境：濕度（20±2）℃
          濕度55％~65％