|
型號 |
M776 |
M7106 | |
|
測量范圍 |
X軸 |
700mm(28″) |
700mm(28″) |
|
Y軸 |
700mm(28″) |
1000mm(40″) | |
|
Z軸 |
600mm(24″) |
600mm(24″) | |
|
分辯率 |
0.0005mm(.00002″) |
0.0005mm(.00002″) | |
|
20℃時的精度 ISO10360-2 |
E=(3.5+4.5L/1000)um R=5.0um(使用TP20) |
E=(3.5+4.5L/1000)um R=5.0um(使用TP20) | |
