東京精密和Carl Zeiss技術的融合XYZAX 機型與世界唯一的動態掃描技術相結合。機器所使用的Calypso 測量程序和AI智能識別功能（東京精密已申請了國際專利），使得任何人都能輕松的完成掃描測量。
VAST測頭是一款動態掃描的測頭在保持測力方向與法線方向（與測量面垂直）相同的同時，保證了測力的恒定，這種功能目前只有通過Carl Zeiss的動態掃描技術才可以實現。這被稱為實時掃描技術。
測量精度與新的JIS規格相對應(JIS B 7440-2 2003)。測量精度可以保證在MPEE=1.9+4L/1000μm。實測值參照下面的數據。確保掃描精度為MPETHP=2.8μm。多種測量配件可以滿足客戶提出的特殊需求，在標準配置的測針上增加300mm的測量延長桿，仍能保證MPETHP=5.8μm的精度。
