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型號
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玻璃厚度及翹曲在線測量儀FL-5000
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測量范圍
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根據物件尺寸定制
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外形尺寸
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根據物件尺寸定制
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激光重現性
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≤ 0.5 µm
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工作臺承重（kg）
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2.5kg
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機臺重量
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100kg
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測量精度
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視物件大小而定（直徑100范圍內，約5μm）
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控制方式
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自動
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儀器厚度測量精度
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≤ ±0.005mm
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儀器翹曲測量精度
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≤ ±0.025mm
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儀器重現精度
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≤ ±0.005mm
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儀器最高效率
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1200件/時
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檢測系統
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激光位移感測系統
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電源
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220 V ± 10% ，50 Hz（用電設備要求接地可靠：接地電阻小于4歐姆）
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工作環境
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20℃ ± 2℃，溫度變化＜2℃/hr，濕度45% ~ 75%
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振動＜0.002g，低于15Hz
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