中圖儀器SJ6000激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數控系統），機床動態特性測量與評估，回轉坐標分度精度標定，觸發脈沖輸入、輸出功能等。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀性能特點：
1.測量精度高、速度快，穩定性好
①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀技術參數：
系統性能
測量方式：單頻
穩頻精度：0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
環境溫度范圍：0~38℃，環境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-38℃)
測量分辨率：1nm
測量最大速度：4m/s
中圖儀器SJ6000激光干涉儀配置：
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序號 |
名稱 |
明細 |
備注 |
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1 |
SJ6000主機 |
1臺，配云臺 |
標配 |
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2 |
環境補償單元 |
1套，配1個空氣溫度探頭和3個材料溫度探頭 |
標配 |
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3 |
筆記本電腦 |
1臺，配測量軟件 |
標配 |
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4 |
便攜式拉桿箱 |
1個，尺寸：560mm×460mm×270mm |
標配 |
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5 |
通用三腳架 |
1個 |
標配 |
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6 |
線性鏡組 |
線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個 |
標配 |
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7 |
鏡組安裝配件 |
磁性座2個 |
標配 |
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安裝柱4節 |
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輔助安裝塊2塊 |
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夾緊塊2個(帶鎖緊螺絲) |
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測頭夾具1個(內徑：φ32mm) |
選配 |
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8 |
輕型線性附件 |
小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個 |
選配 |
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9 |
遠距離線性附件 |
大角錐反射鏡、遠距離分光鏡，各1個 |
選配 |
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10 |
可調轉向鏡 |
可調轉向鏡1個 |
選配 |
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11 |
角度鏡組 |
角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個 |
選配 |
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12 |
平面度鏡組 |
平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用 |
選配 |
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平面度反射鏡2個 |
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180mm可調基板、360mm可調基板，各1個 |
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13 |
直線度鏡組 |
直線度干涉鏡、直線度反射鏡，各1個 |
選配 |
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直線度附件1套 |
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14 |
垂直度鏡組 |
垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用 |
選配 |
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光學直角尺、垂直度安裝三腳架，各1個 |
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15 |
高精密轉臺 |
鋰電池供電，藍牙傳輸 |
選配 |
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16 |
工作服 |
夏、冬實驗室工作服各1件 |
選配 |
