激光干涉儀主要特色與效益1.品質管制維護 2.系統結構簡單、重量輕 3.自動數據采集 4.激光準確度經由 NIST認證 5.毋須三腳架及干涉鏡 6.WindowsTM軟件 7.RS-232接口 8.自動環境補償 9.支持NMTBA、、ISO及 ASME B5.54標準 主要應用 1.品質管制維護 2.超精密定位 3.CNC機床、CMM、導螺桿及 DRO直線校驗 激光干涉儀的技術參數: 最大量程 100000mm 準確度 1μm/M ； 分辨率 0.01μm 最高工作速度 2400M/min
