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產品特點： 1 、非接觸式測量：避免對象受損。 2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。 3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。 4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。 5、高速數字訊號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。 6 、掃描儀：采用死循環控制系統。 7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。 8 、測量軟件：基于windows 操作系統的使用者接口，強大而快速的運算。 | ||||||||
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應用領域： 1、半導體芯片 2、液晶產品（CS,LGP,BIU） 3、微機電系統 4、光纖產品 5、資料存儲盤（HDD,DVD,CD） 6、材料研究 7、精密加工表面 8、生物醫學工程
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