采用L型移動橋式，由兩到三個高精度等高塊穩固支撐Y向槽型導軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，提高了運動質心，減少了阿貝誤差
X軸和Z軸均采用超精加工及經過表面硬質陽極化處理的航空鋁合金
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導軌
Z軸采用專利的可調式氣動平衡設計，采用柔性懸掛系統，避免了軸向運動和傳動系統之間的干涉問題，提高了測量機的精度和長期穩定性
各運動軸均采用直流伺服驅動+增強型同步帶，確保運動的平穩和準確定位
三軸均采用預載荷空氣軸承，運動更平穩，導軌永不受磨損
三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺，系統分辨率可達0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮
采用海克斯康為Function Plus專業打造的IDC-II控制系統，21項誤差空間修正技術和自動調諧功能，保證了大型機器的動態性能和測量精度
測量機三軸都配置溫度傳感器，實時監控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
軟件為業界標桿的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM)，功能強大，易學高效
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