| 分辨率 (μm) |
精度 (μm/M) |
量程 (mm) |
輸 出 信 號 |
參 考 標 記 |
重 復 量 程 |
| 2μm; 1μm; 0.5μm | ±1μm ~ ±2μm |
0 ~ 500 | TTL 正弦1Vpp |
絕對 零點 |
亞微米 |
| 2μm ;1μm; 0.5μm | ±2μm ~ ±5μm | 50 ~ 1200 | 差動TTL 正弦1Vpp |
絕對 零點 |
亞微米 |
| 2μm; 1μm; 0.5μm |
±2μm ~ ±4μm | 1200 ~ 3000 | 差動TTL 正弦1Vpp |
絕對 零點 |
1~2個分辨率 |
| 光柵密度 (1/mm) |
工作速度 (M/Min) |
耐振動 (M/sec) |
工作溫度 (℃) |
電源電壓 (V) |
電纜最長 (M) |
| 50;100;125 | 30 ~ 100 | 20 ~ 35 | -10 ~ +50 | +5；+24 | 30 |
